高純氣體管道的安裝設(shè)計(jì)要點(diǎn)有哪些

　　想要有一個(gè)優(yōu)質(zhì)的高純氣體管道系統(tǒng)，就要在高純氣體管道裝置上下功夫。管道裝置除了配管和附件質(zhì)料的挑選以外，***要做好的就是氣體管道整體規(guī)劃規(guī)劃了。下面洛陽(yáng)方特工貿(mào)就來(lái)跟大家說(shuō)下高純氣體管道裝置的規(guī)劃要點(diǎn)有哪些？

　　一、從氣體性質(zhì)和純度考慮：

　　1、關(guān)于不同特性的氣體，應(yīng)規(guī)劃獨(dú)立的供應(yīng)區(qū)域。一般分為三個(gè)區(qū)：腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)，將相同性質(zhì)的氣體集中加強(qiáng)管理，可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與走漏口，若空間缺少，可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。

　　2、對(duì)高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備，宜選用分等級(jí)高純氣體運(yùn)送系統(tǒng)；也可選用同等級(jí)運(yùn)送系統(tǒng)，但是在純度要求高的用氣設(shè)備鄰近處設(shè)結(jié)束氣體提純?cè)O(shè)備。

　　3、依據(jù)用氣設(shè)備的散布狀況，高純氣體的管網(wǎng)不宜過(guò)大或許過(guò)長(zhǎng)；宜選用不關(guān)閉的環(huán)形管路，在系統(tǒng)結(jié)束接二連三排放少數(shù)的氣體，以便在管網(wǎng)中總有高純氣體流轉(zhuǎn)，不會(huì)發(fā)生“死空間”引起高純氣體的污染。

　　4、管路中應(yīng)削減不流動(dòng)氣體的“死空間”，不該設(shè)有盲管，在特種氣體的儲(chǔ)氣瓶與用氣設(shè)備之間應(yīng)設(shè)吹掃控制設(shè)備、多閥門(mén)控制設(shè)備、用以控制各個(gè)閥門(mén)的開(kāi)關(guān)次第、系統(tǒng)吹除，以保證供氣系統(tǒng)的安全、牢靠運(yùn)行和避免“死區(qū)”構(gòu)成而逗留污染物，下降氣體純度。

　　二、從氣體檢測(cè)方面考慮：

　　1、為了檢測(cè)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量，運(yùn)送系統(tǒng)除了設(shè)置必要的接連檢測(cè)儀器，如衡量水含量或許氧雜質(zhì)含量等剖析儀外，還應(yīng)設(shè)置定期取樣用的檢測(cè)采樣口，以便按規(guī)矩時(shí)刻進(jìn)行采樣，剖析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。

　　2、在亞微米級(jí)的集成電路生產(chǎn)中，要求供應(yīng)10－9級(jí)的高純氣體，為了保證結(jié)束用氣工藝設(shè)備處的氣體純度，使氣體中的雜質(zhì)含量（包含塵粒）控制在規(guī)矩的數(shù)值內(nèi)，一般在設(shè)備前設(shè)置結(jié)束純化設(shè)備，或結(jié)束高精度氣體過(guò)濾器。

　　三、從經(jīng)濟(jì)性方面考慮：

　　管路規(guī)劃需求考慮運(yùn)送的距離，距離越長(zhǎng)，本錢(qián)越高，危險(xiǎn)也越高，一般較合理的規(guī)劃流速為20ml/S，可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S，在用量規(guī)劃方面，則需求考慮運(yùn)用點(diǎn)的壓力和管徑巨細(xì)，前者與氣體特性有關(guān)，后者運(yùn)用點(diǎn)的管徑一般為1/4”～3/8”。